发明名称 |
PARALLEL FLAT PLATE TYPE PLASMA ETCHING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02224328(A) |
申请公布日期 |
1990.09.06 |
申请号 |
JP19890043085 |
申请日期 |
1989.02.27 |
申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD;MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TOYOSHIGE ITSURO |
分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23F4/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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