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经营范围
发明名称
SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH02224324(A)
申请公布日期
1990.09.06
申请号
JP19890045914
申请日期
1989.02.27
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
SAITO AKIRA
分类号
C30B13/06;C30B29/06;H01L21/20;H01L21/263;H01L27/00
主分类号
C30B13/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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