发明名称 SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH02224324(A) 申请公布日期 1990.09.06
申请号 JP19890045914 申请日期 1989.02.27
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SAITO AKIRA
分类号 C30B13/06;C30B29/06;H01L21/20;H01L21/263;H01L27/00 主分类号 C30B13/06
代理机构 代理人
主权项
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