发明名称 FORMING METHOD OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02219232(A) 申请公布日期 1990.08.31
申请号 JP19890039889 申请日期 1989.02.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YANO KOSAKU;SAWADA KAZUYUKI;TANIMURA SHOICHI
分类号 H01L21/316;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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