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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING CENTRIFUGED ARSENIUM SOURCE OR PHOSPHOROUS SOURCE FOR PLANARY DIFFUSION IN SILICON
摘要
申请公布号 PL151167(B1) 申请公布日期 1990.08.31
申请号 PL19870264595 申请日期 1987.03.11
申请人 发明人
分类号 C30B;C30B25/02;H01L;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C30B
代理机构 代理人
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