发明名称 GARASUKIBANSENJOSOCHI
摘要
申请公布号 JPH0238275(B2) 申请公布日期 1990.08.29
申请号 JP19840023854 申请日期 1984.02.10
申请人 KURESEN SANGYO KK 发明人 MINEGISHI YOSHIAKI
分类号 B08B3/04;B08B11/04;B66F19/00;G03F1/82;G03F7/00;G03F7/30;H01L21/304;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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