| 发明名称 |
ELECTRIC CHARACTERISTIC MEASURING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH02216061(A) |
申请公布日期 |
1990.08.28 |
| 申请号 |
JP19890038850 |
申请日期 |
1989.02.16 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MIYAMOTO YUTAKA;MORI TETSUO |
| 分类号 |
G01R1/18;G01R29/26;G01R31/26;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/18 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
