| 发明名称 |
TRANSFER APPARATUS FOR MOVING WORK FROM ONE ATMOSPHERE INTO ANOTHER ATMOSPHERE AND METHOD FOR SUPPLYING TREATMENT CHAMBER WITH SAID WORK AND DISCHARGING THE WORK THEREFROM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02213469(A) |
申请公布日期 |
1990.08.24 |
| 申请号 |
JP19890292523 |
申请日期 |
1989.11.13 |
| 申请人 |
BALZERS AG |
发明人 |
HAINRITSUHI FUITSUSHIYAA;GUREGOORU SHIYUTORAASAA;GERARUDO TSUEERAA;ROMAN SHIERUTORAA |
| 分类号 |
B23Q7/00;C23C14/56;G11B7/26;H01L21/677 |
主分类号 |
B23Q7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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