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发明名称 VORRICHTUNG ZUR MOLEKULARSTRAHL-EPITAXIE.
摘要
申请公布号 DE3672807(D1) 申请公布日期 1990.08.23
申请号 DE19863672807 申请日期 1986.12.24
申请人 KIMATA, MORIHIKO, MURAYAMA, TOKIO/TOKYO, JP;SHIMADZU CORP., KYOTO, JP 发明人 KIMATA, MORIHIKO, 4-CHOME, HIGASHI MURAYAMA-SHI TOKYO, JP
分类号 C30B23/08;C30B23/02;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/02 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
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