MAKING OF THIN FILM SAMPLE,申请号JP19890034028-传众专利搜索

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发明名称	MAKING OF THIN FILM SAMPLE
摘要
申请公布号	JPH02212738(A)	申请公布日期	1990.08.23
申请号	JP19890034028	申请日期	1989.02.13
申请人	NEC CORP	发明人	SAKAI AKIRA
分类号	G01N1/32;C23F4/00	主分类号	G01N1/32
代理机构		代理人
主权项
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