发明名称 ELECTRON BEAM SOURCE
摘要
申请公布号 EP0360035(A3) 申请公布日期 1990.08.22
申请号 EP19890115839 申请日期 1989.08.28
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ROSE, HARALD, PROF. DR.;SCHONECKER, GERHARD, DIPL.-PHYS.
分类号 H01J37/063;H01J37/09;H01J37/153;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/063 主分类号 H01J37/063
代理机构 代理人
主权项
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