| 发明名称 |
ETCHING METHOD FOR FORMING FINE PATTERN AND ETCHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02211691(A) |
申请公布日期 |
1990.08.22 |
| 申请号 |
JP19890032485 |
申请日期 |
1989.02.10 |
| 申请人 |
CMK CORP |
发明人 |
SEKI KAMEHARU;KAWAKAMI SHIN;KUBO ISAMU |
| 分类号 |
C23F1/00;C23F1/08;H05K3/06 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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