发明名称 PLASMA CLEANING
摘要
申请公布号 JPH02211626(A) 申请公布日期 1990.08.22
申请号 JP19890031065 申请日期 1989.02.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 ITO YOICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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