| 摘要 |
Le contrôle d'alignement d'un ou de plusieurs élément(s) est effectué à l'aide d'une source de rayonnement (11), d'un ensemble réfléchissant d'alignement (12) logé dans ou fixé à un élément (13) dont l'alignement est à contrôler ainsi que d'un ensemble de détection (14). L'ensemble réfléchissant d'alignement (12) comprend un miroir classique (16) réfléchissant une partie du rayonnement incident (E) selon un angle de réflexion de signe contraire et de grandeur sensiblement égale à ceux de l'angle d'incidence du rayonnement. L'ensemble réfléchissant l'alignement (12) comprend également un miroir à conjugaison de phases (18) réfléchissant le rayonnement incident (E) selon un angle de réflexion sensiblement égal en grandeur et en signe à celui de l'angle d'incidence du rayonnement, c'est-à-dire, le long de la trajectoire du rayonnement incident. L'orientation de d'alignement de l'ensemble réfléchissant d'alignement (12) et de l'élément (13), est déterminée par contrôle dudit rayonnement rétro-réfléchi provenant du miroir à conjugaison de phases (18) et du rayonnement réfléchi provenant du miroir classique (16). |
