发明名称 Volatile fluorinated beta -ketoimines and associated metal complexes
摘要
申请公布号 US4950790(A) 申请公布日期 1990.08.21
申请号 US19880270719 申请日期 1988.11.14
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 NORMAN, JOHN A. T.
分类号 C07C249/02;C07C251/08;C07F1/08;C07F7/18;C07F15/06;C23C16/18;H01L21/285 主分类号 C07C249/02
代理机构 代理人
主权项
地址