发明名称 WIRING SYSTEM OF LSI
摘要
申请公布号 JPH02207550(A) 申请公布日期 1990.08.17
申请号 JP19890026594 申请日期 1989.02.07
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMADA MASAAKI
分类号 H01L21/82;G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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