INTEGRATED OPTICAL SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF PRODUCING THE SAME

摘要

On a mis au point un dispositif optique intégré à semi-conducteur présentant une meilleure efficacité de couplage optique entre des dispositifs optiques à semi-conducteurs. On a prévu une couche (3) optique de guide d'ondes sur un substrat (1) à semi-conducteur. On a prévu sur ladite couche de guide d'ondes, une première couche active (103) ainsi qu'une seconde couche active (104) ayant presque la même épaisseur, lesdites couches étant directement couplées le long de la surface terminale (107) afin de constituer un premier dispositif (105) optique à semi-conducteur ainsi qu'un second dispositif (106) optique à semi-conducteur. Dans l'étape de fabrication, on interpose une couche d'arrêt de gravure par avance entre la couche (3) optique de guide d'ondes et ladite première couche active (103). Du fait de cette structure les deux couches actives sont formées tout en maintenant une hauteur presque égale sans permettre la gravure de ladite couche (3) optique de guide d'ondes. On obtient par conséquent un dispositif optique intégré à semi-conducteur présentant une bonne efficacité de couplage optique.