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发明名称 ION SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02199760(A) 申请公布日期 1990.08.08
申请号 JP19890020363 申请日期 1989.01.30
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 ARISAWA TAKESHI
分类号 H01J27/02;H01J37/08;H01J37/317 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
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