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发明名称
ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02199759(A)
申请公布日期
1990.08.08
申请号
JP19890019237
申请日期
1989.01.26
申请人
NISSIN HIGH VOLTAGE CO LTD
发明人
IWAMOTO EIJI
分类号
H01J37/20;H01J37/317;H01L21/265
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
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