发明名称 MIT EINER STRUKTURIERTEN OBERFLAECHE VERSEHENE SUBSTRATE FUER DAS AUFWACHSEN VON ERSTARRENDEN SCHICHTEN AUS SCHMELZEN, INSBESONDERE VON HALBLEITERMATERIAL
摘要
申请公布号 DE3902452(A1) 申请公布日期 1990.08.02
申请号 DE19893902452 申请日期 1989.01.27
申请人 HELIOTRONIC FORSCHUNGS- UND ENTWICKLUNGSGESELLSCHAFT FUER SOLARZELLEN-GRUNDSTOFFE MBH, 8263 BURGHAUSEN, DE 发明人 BECK, ANDREAS, DIPL.-CHEM. DR., 8263 BURGHAUSEN, DE;GEISSLER, JOACHIM, DIPL.-ING. (FH), 8261 STAMMHAM, DE;HELMREICH, DIETER, DIPL.-CHEM. DR.;AMBROS, GEORG, DIPL.-ING. (FH), 8263 BURGHAUSEN, DE
分类号 C03B19/00;C30B15/00;C30B19/12;H01L21/208;H01L21/368;H01L31/04 主分类号 C03B19/00
代理机构 代理人
主权项
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