发明名称 NOVEL MASKING TECHNIQUE FOR DEPOSITING GALLIUM ARSENIDE ON SILICON
摘要
申请公布号 GB9013038(D0) 申请公布日期 1990.08.01
申请号 GB19900013038 申请日期 1990.06.12
申请人 INTEL CORPORATION 发明人
分类号 C23C14/04;C23C16/04;H01L21/20 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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