发明名称 PROBE HEAD
摘要
申请公布号 JPH02195201(A) 申请公布日期 1990.08.01
申请号 JP19890320725 申请日期 1989.12.12
申请人 CARL ZEISS:FA 发明人 HANSUUPEETAA EENERUTO;ETSUKUHARUTO ENDERURE;MIHIYAERU BUIRUTO
分类号 G01B5/00;G01B3/00;G01B5/012;G01B5/20;G01B7/012;G01B13/03 主分类号 G01B5/00
代理机构 代理人
主权项
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