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经营范围
发明名称
PLASMA GENERATION APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH02194525(A)
申请公布日期
1990.08.01
申请号
JP19890013517
申请日期
1989.01.23
申请人
SUGAWARA MINORU
发明人
SUGAWARA MINORU
分类号
H05H1/46;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
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