发明名称 PLASMA GENERATION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02194525(A) 申请公布日期 1990.08.01
申请号 JP19890013517 申请日期 1989.01.23
申请人 SUGAWARA MINORU 发明人 SUGAWARA MINORU
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
地址