发明名称 FORMATION OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02194622(A) 申请公布日期 1990.08.01
申请号 JP19890014614 申请日期 1989.01.24
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KARASAWA TAKESHI;FUJINAGA KIYOHISA;HIROTA SHOICHI;KAWASHIMA IZUMI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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