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经营范围
发明名称
FORMATION OF MULTILAYER WIRING
摘要
申请公布号
JPH02194629(A)
申请公布日期
1990.08.01
申请号
JP19890013257
申请日期
1989.01.24
申请人
SONY CORP
发明人
TANAKA YASUSHI;KIYOTA HISAHARU
分类号
H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/285
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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