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发明名称 POLYSILOXANE RESIST FOR ION BEAM AND ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 KR900005404(B1) 申请公布日期 1990.07.28
申请号 KR19860070770 申请日期 1986.11.06
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO. 发明人 BRAULT ROBERT G.
分类号 G03F7/075;G03F7/09;(IPC1-7):G03F7/075 主分类号 G03F7/075
代理机构 代理人
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