| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR EVALUATING SURFACE CONDITIONS OF A SAMPLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0162681(B1) |
申请公布日期 |
1990.07.25 |
| 申请号 |
EP19850303509 |
申请日期 |
1985.05.20 |
| 申请人 |
THERMA-WAVE INC. |
发明人 |
ROSENCWAIG, ALLAN;SMITH, WALTER LEE |
| 分类号 |
G01N21/17;G01N21/00;G01N21/55 |
主分类号 |
G01N21/17 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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