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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0370775(A3) 申请公布日期 1990.07.25
申请号 EP19890312090 申请日期 1989.11.21
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 NAKATA, REMPEI C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION;ITOH, HITOSHI C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION;ENDO, TAKASHI C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION;WATANABE, TOHRU C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION
分类号 H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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