| 发明名称 |
СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНОЕ СОЕДИНЕНИЕ В ВАКУУМНЫХ ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКИХ ПРОЦЕССАХ |
| 摘要 |
Применение тетракис-циннамоилового эфира пентаэритрита формулыгдев качестве светочувствительного соединения в вакуумных фотолитографических процессах. |
| 申请公布号 |
RU1333066(C) |
申请公布日期 |
2016.08.27 |
| 申请号 |
SU19853980717 |
申请日期 |
1985.11.28 |
| 申请人 |
Букин Ю.И. |
发明人 |
Букин Ю.И.;Гетманова Е.В.;Дубинин Н.В.;Беспалов Б.П.;Лукьянец Е.А.;Иващенко А.В.;Фролова Л.М.;Исаева Р.В. |
| 分类号 |
G03C1/73 |
主分类号 |
G03C1/73 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
