发明名称 PRODUCING DEVICE FOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH02188485(A) 申请公布日期 1990.07.24
申请号 JP19890004604 申请日期 1989.01.13
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 ARAKI TAKASHI;TATSUMI MASAMI
分类号 C30B11/00;C30B29/42;H01L21/208 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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