循序波前传感器

摘要

一种循序波前传感器，其中含有一光束扫描模块、一子波前聚焦透镜、一具有一个以上的光敏(photosensitive)区域的侦测器，以及一处理器，其用以计算出距这些子波前的数个聚焦光点的经循序获得的中心点(centroids)，由此决定该输入波前的偏差(aberration)。一种循序波前感测方法，其中包含如下步骤：将数个子波前循序地投射(projecting)在一子波前聚焦透镜与一具有多于一光敏区域的侦测器上，计算该距各个子波前的聚焦光点的中心点，以及处理该中心点信息以决定该输入波前的偏差。特别是，一种用于自动对焦及/或自动散光校正作业的方法，其中包含如下步骤，即将数个绕于一波前的轮型环(annular ring)的子波前循序地投射在一子波前聚焦透镜及一侦测器上；计算该聚焦光点距各子波前的中心点，以算出该中心点迹线(trace)并因此产生失焦及/或散光性现象；调整位于该波前传感器之前的光学影像系统的失焦及/或散光现象，因而将该所测得的失焦及/或散光现象最小化。

主权项

一种循序波前传感器，其中包含：波前扫描装置，其适用横向地循序地平移入射波前并将该入射波前的不同部分循序地投射至聚焦组件上，该波前扫描装置包括波前扫描仪，其用以依横向方向而循序地平移该入射波前；该波前扫描装置还包括孔径，可让一部分的经平移波前能够入射在该聚焦组件上，该聚焦组件被设置以将由该孔径所选择的该平移入射波前的一部分聚焦到位置感测装置上；其中该位置感测装置用以表示循序影像点在焦点平面上的位置，而该平移入射波前的该部分是由该聚焦组件所聚焦到该位置感测装置上。