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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02187016(A) 申请公布日期 1990.07.23
申请号 JP19890006848 申请日期 1989.01.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAGUCHI ATSUMI
分类号 G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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