METHOD AND DEVICE FOR SPUTTERING,申请号JP19890000377-传众专利搜索

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发明名称	METHOD AND DEVICE FOR SPUTTERING
摘要
申请公布号	JPH02182879(A)	申请公布日期	1990.07.17
申请号	JP19890000377	申请日期	1989.01.06
申请人	HITACHI LTD;SHIN MEIWA IND CO LTD	发明人	INOGUCHI NORIO;SAITO YUTAKA
分类号	C23C14/35	主分类号	C23C14/35
代理机构		代理人
主权项
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