发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02181920(A) 申请公布日期 1990.07.16
申请号 JP19890002547 申请日期 1989.01.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAGAWA MASAKAZU;ASANO ISAMU
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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