发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02181917(A) 申请公布日期 1990.07.16
申请号 JP19890000848 申请日期 1989.01.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YAMAMOTO HIDETSUGU
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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