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发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JPH0231493(B2) 申请公布日期 1990.07.13
申请号 JP19810093735 申请日期 1981.06.19
申请人 TOKYO DAIGAKU 发明人 SUGANO TAKUO;HOO KOTSUKU UU
分类号 H01L21/261;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/324 主分类号 H01L21/261
代理机构 代理人
主权项
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