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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON AETZSTRUKTUREN IN ISOLATORSCHICHTEN AUF HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号
DD280633(A1)
申请公布日期
1990.07.11
申请号
DD19890326649
申请日期
1989.03.16
申请人
VEB WERK FUER FERNSEHELEKTRONIK,DD
发明人
RAUSCH,BODO,DD;BRAUN,ANDREAS,DD;HETTFLEISCH,HEIDE,DD
分类号
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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