发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON AETZSTRUKTUREN IN ISOLATORSCHICHTEN AUF HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DD280633(A1) 申请公布日期 1990.07.11
申请号 DD19890326649 申请日期 1989.03.16
申请人 VEB WERK FUER FERNSEHELEKTRONIK,DD 发明人 RAUSCH,BODO,DD;BRAUN,ANDREAS,DD;HETTFLEISCH,HEIDE,DD
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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