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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH02178916(A) 申请公布日期 1990.07.11
申请号 JP19880335129 申请日期 1988.12.28
申请人 KYOCERA CORP 发明人 BITO YOSHIFUMI
分类号 H01L29/20;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/324;H01L21/338;H01L29/812;H01S5/00 主分类号 H01L29/20
代理机构 代理人
主权项
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