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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE FOR SWITCH ARRAY AND MASTER SLICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02177473(A) 申请公布日期 1990.07.10
申请号 JP19880329001 申请日期 1988.12.28
申请人 ASAHI KASEI MICRO SYST KK 发明人 KAWADA IZUMI;ADACHI TOSHIO
分类号 H01L27/118;H01L21/82 主分类号 H01L27/118
代理机构 代理人
主权项
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