发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02177469(A) 申请公布日期 1990.07.10
申请号 JP19880332287 申请日期 1988.12.28
申请人 SHARP CORP 发明人 MAEDA HIROSHI
分类号 H01L27/06;H01L21/265;H01L21/8238;H01L21/8249;H01L27/092 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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