发明名称 DEVICE FOR GENERATING DILUTE ANHYDROUS GASEOUS HYDROGEN FLUORIDE
摘要
申请公布号 JPH02175883(A) 申请公布日期 1990.07.09
申请号 JP19880181224 申请日期 1988.07.20
申请人 HASHIMOTO KASEI KOGYO KK 发明人 OMI TADAHIRO;MIKI MASAHIRO;MAENO MATAGORO;KIKUYAMA HIROHISA
分类号 C23F1/12 主分类号 C23F1/12
代理机构 代理人
主权项
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