| 发明名称 |
ULTRAFINE PARTICLE, PRODUCTION THEREOF AND ULTRAFINE-PARTICLE FILM-UTILIZING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02175601(A) |
申请公布日期 |
1990.07.06 |
| 申请号 |
JP19890231613 |
申请日期 |
1989.09.08 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ENDO KIJU;ARAYA TAKESHI;ONO MASAHIKO;KAWAMURA TAKAO;KAWAMURA HIROMITSU |
| 分类号 |
G02B1/11;C01B13/14;C01B33/18;C23C24/08;G02B1/10;H01B1/08;H01J9/20;H01J29/88 |
主分类号 |
G02B1/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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