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发明名称 FORMATION OF FILM
摘要
申请公布号 JPH02174123(A) 申请公布日期 1990.07.05
申请号 JP19880330344 申请日期 1988.12.26
申请人 NEC CORP 发明人 HIURA YUKO
分类号 C23C16/40;H01L21/31;H01L21/316 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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