发明名称 HANDLING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02172688(A) 申请公布日期 1990.07.04
申请号 JP19880325815 申请日期 1988.12.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAZAKI NORIHIRO;IWASAKI SEIICHI
分类号 B25J13/08;B25J15/08;H01L21/52;H01S5/00 主分类号 B25J13/08
代理机构 代理人
主权项
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