发明名称 FORMATION OF SUPERCONDUCTING THIN-FILM ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH02170478(A) 申请公布日期 1990.07.02
申请号 JP19880323298 申请日期 1988.12.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKANE HIDEAKI
分类号 C01G15/00;C01G1/00;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C01G15/00
代理机构 代理人
主权项
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