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发明名称
FORMATION OF SUPERCONDUCTING THIN-FILM ELEMENT
摘要
申请公布号
JPH02170478(A)
申请公布日期
1990.07.02
申请号
JP19880323298
申请日期
1988.12.23
申请人
HITACHI LTD
发明人
NAKANE HIDEAKI
分类号
C01G15/00;C01G1/00;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24
主分类号
C01G15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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