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发明名称 METHOD OF MEASURING GEOMETRIC PARAMETERS OF SURFACE IN INTERFERENCE PROFILOGRAPH OF WHITE LIGHT
摘要
申请公布号 SU1575070(A2) 申请公布日期 1990.06.30
申请号 SU19884415690 申请日期 1988.04.27
申请人 MO I RADIOTECH 发明人 BABENKO VALERIJ P,SU;GORBARENKO VALENTIN A,SU;EVTIKHIEV NIKOLAJ N,SU;KURCHATOV YURIJ A,SU;LEVINSON GENNADIJ R,SU;TUGARIN VYACHESLAV G,SU
分类号 G01B21/00 主分类号 G01B21/00
代理机构 代理人
主权项
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