发明名称 Electronzyklotronresonanz-Ionenquelle.
摘要
申请公布号 DE68921370(T2) 申请公布日期 1995.10.19
申请号 DE19896021370T 申请日期 1989.05.24
申请人 EATON CORP., CLEVELAND, OHIO, US;NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HIPPLE, JAMES E., LEXINGTON MASSACHUSETTS 02173, US;DIONNE, GERRY, SOUTH HAMILTON, MA 01982, US;TORII, YASUHIRO, KANAGAWA PREFECURE 243-01, JP;SHIMADA, MASARU, KANAGAWA PREFECURE, 259-11, JP;WATANABE, IWAO, KANAGAWA PREFECURE, 259-11, JP
分类号 C23C14/48;H01J27/16;H01J27/18;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/18 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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