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发明名称
ZERSTAEUBUNGSVORRICHTUNG.
摘要
申请公布号
DE3381593(D1)
申请公布日期
1990.06.28
申请号
DE19833381593
申请日期
1983.10.05
申请人
FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP
发明人
NAGASHIMA, SETSUO, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP
分类号
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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