发明名称 ZERSTAEUBUNGSVORRICHTUNG.
摘要
申请公布号 DE3381593(D1) 申请公布日期 1990.06.28
申请号 DE19833381593 申请日期 1983.10.05
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 NAGASHIMA, SETSUO, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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