| 摘要 |
<p>Die Heizvorrichtung eines in Schichttechnik aufgebauten Schreibkopfes wird durch Erzeugen eines Heizwiderstandes (15) in Form eines Heizmäanders direkt aus einem der beiden für Thermowandler (4) und Leiterbahnen (5, 6) auf dem Grundoxyd abgeschiedenen, elektrisch leitfähigen Dünnfilme in auf dem Substrat vorhandenen Leerräumen realisiert. Die Leerräume werden dabei durch Auffächern und gruppenweiser Zusammenfassung der Leiterbahnen (5, 6) geschaffen, in denen Teilabschnitte des Heizwiderstandes (15) eingebettet sind. Der Heizwiderstand (15) ist Bestandteil einer Widerstandsmeßbrücke und durch Auswertung seines elektrischen Widerstandes wird dieser als Wärmequelle und gleichzeitig als Temperatursensor verwendet.</p> |
