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经营范围
发明名称
WET ETCHING OF CURED POLYIMIDE
摘要
申请公布号
EP0351622(A3)
申请公布日期
1990.06.27
申请号
EP19890112091
申请日期
1989.07.03
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
BARD, STEVEN LYNDZ;FEGER, CLAUDIUS;GLENNING, JOHN JOSEPH;HOUGHAM, GARETH GEOFFREY;MOLIS, STEVEN EARLE;PAWLOWSKI, WALTER PAUL;RITSKO, JOHN JAMES;SLOTA, PETER, JR.;SNYDER, RANDY WILLIAM
分类号
G03F7/26;C08J7/12;G03F7/40;H01L21/306;H01L21/311;H05K1/03;H05K3/00;H05K3/10;(IPC1-7):C08J7/12;H01L21/31;H01L21/90
主分类号
G03F7/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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