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发明名称 FABRICATING A SEMICONDUCTOR DEVICE WITH BURIED OXIDE.
摘要
申请公布号 EP0233202(A4) 申请公布日期 1990.06.26
申请号 EP19860904005 申请日期 1986.06.13
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 MCLAUGHLIN, KEVIN, L.;BIRRITTELLA, MARK, S.
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/36;H01L21/385;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;H01L29/06;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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